薄膜沉積丨原子層沉積(ALD) 技術(shù)原理及應(yīng)用
什么是原子層沉積(ALD)? 原子層沉積 (Atomic Layer Deposition, ALD)是一種基于化學(xué)氣相沉積 (CVD) 的高精度 薄膜沉積 技術(shù),是將物質(zhì)材料以單原子膜的形式基于化學(xué)...
2022-12-28什么是原子層沉積(ALD)? 原子層沉積 (Atomic Layer Deposition, ALD)是一種基于化學(xué)氣相沉積 (CVD) 的高精度 薄膜沉積 技術(shù),是將物質(zhì)材料以單原子膜的形式基于化學(xué)...
2022-12-28